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產品簡介
線掃描相機 TDI相機 Dhyana 9KTDI Pro高速TDI-sCMOS相機600 kHz @ 9K256 級TDI180 nm ~ 1100 nm風冷／水冷CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+
| 品牌 | 鑫圖 | 型號: | Dhyana 9KTDI Pro |
|---|---|---|---|
| 傳感器類型: | BSI sCMOS TDI | 傳感器型號: | Gpixel GLT5009BSI |
| 量子效率: | 82%@550nm, 50%@350nm, 38%@800nm | 彩色/黑白: | 黑白 |
| 對角線尺寸: | 45.4 mm | 有效面積: | 45.36 mm x 1.28 mm |
| 分辨率: | 9072 (H) x 256 (V) | 像素尺寸: | 5 μm x 5 μm |
| 操作模式: | TDI, Area | TDI級數: | 4，8，12，32，64，96，128，160，192，224，240，248，252，256 |
| 掃描方向: | 正向，反向，觸發控制 | 電荷轉移效率: | ≥0.99993 |
| 位深: | 12bit, 10bit, 8bit | 滿阱容量: | 典型值：14ke-@10bit，15.5ke-@12bit |
| 動態范圍: | 典型值：68.7dB@12bit，63.6dB@10bit | 最大線速: | 300kHZ@12bit，600kHZ@10bit，600kHZ@8bi |
| 讀出噪聲: | 7.2e-@12bit，11.4e-@10bit | 暗信號不均勻性: | 典型值：1.5e-@12bit，3.5e-@10bit |
| 光響應不均勻性: | 典型值：0.30% | 制冷方式: | 風冷，水冷，制冷速度5℃/min |
| 制冷溫度: | 低于環境溫度35℃ | Binning: | 1×1，2x1，4x1，8x1 |
| ROI: | 支持 | 觸發模式: | 觸發輸入，掃描方向輸入 |
| 觸發輸出信號: | Strobeout | 觸發接口: | Hirose，HR10A-7R-4S |
| 時間戳精度: | 8ns | 增益: | 模擬增益：x2~x8, 步進0.5，數字增益：x0.5~x10,步進1 |
| 數據接口: | CoaxPress-Over-Fiber2xQSFP+ | 光學接口: | M72/用戶定制 |
| 電源: | 12V/8A | 功耗: | <75W |
| 相機尺寸: | 100 mmx100 mmx145 mm | 重量: | 1800g |
| 軟件: | Samplepro | SDK: | C，C++，C# |
| 操作系統: | Windows，Linux | 操作環境: | 工作:溫度0~40°C，濕度0~85%；儲存:溫度0~60°C，濕度0~90% |
高速TDI-sCMOS相機 Dhyana 9KTDI Pro（簡稱：D 9KTDI Pro）背照式TDI 相機基于*的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術，采用可靠穩定的制冷封裝技術，覆蓋從180 nm 紫外到1100 nm 近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導體晶圓缺陷檢測、半導體材料缺陷檢測、基因測序等應用提供更高效率、更穩定的檢測支持。
高速TDI-sCMOS相機 Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技術，已驗證的響應波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區域。256級 TDI技術可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設備檢測精度。
Dhyana 9KTDI Pro 配備CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口，其傳輸效率相當于背照式 CCD-TDI 相機的54倍，顯著提升設備的檢測效率。Dhyana 9KTDI Pro的相機行頻最高可達 9K @ 600 kHz，為行業提供快速的多級TDI線掃描解決方案。
相機高速運行時產生的大量熱量，不僅會影響成像質量，還會引起測量結果的波動。鑫圖*水冷和風冷技術，確保相機制冷性能即使長時間運行也能保持穩定狀態，降低設備誤檢率。
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